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Silano (SiH4)

Silano (SiH4)

Silano (SiH4): gas electrónico especial, proceso de clorosilano para producir SiH4, materias primas fáciles de obtener, condiciones suaves, fácil de ampliar.
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Introducti técnicoEn SiH4Tecnología de proceso

  • Gasificación de silicio industrial

SiCl Si 342H2→ 4SiHCl3

2SiCl42H2Si HCl → 3SiHCl3

  • Desproporción de triclorosilano

4SiHCl3→ 3SiCl4SiH4

Características de la tecnología de proceso SiH4

1

Ruta del reactor multifuncional basada en la rectificación de la reacción

2

Tasa de conversión: 0.2% (XEQ) → Casi 100%

3

Ciclo material: una reducción de casi 90%

4

Inversión DE EQUIPOS: reducido en más de 20%

5

Costo operativo: reducido en más de 30%

6

La pureza del producto está por encima de 6N(99.9999%)

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